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739 故意刁难

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完全认同教授所说的学生需要完备的理论支撑。所以,这件事我已经和上层领导讨论过,如果能有幸入选,我会严格按照清大培养方案的要求,利用一切空闲时间完成所有必修选修课程,保证理论学习的系统性。”

“与此同时,我会把一线实践过程中遇到的问题反向带回校园,与导师和同学们进行更有针对性,更深入的探讨。我相信这种反向推敲,边学边用的模式也许会给清大的培养模式带来一些新的思考。”

他表达了对清大培养模式的尊重,同时有理有据的阐述了基地工作的独特价值,条理清晰不卑不亢。

龙老眼中闪过一抹赞赏的微光,笑着点了点头。

那位提问的教授虽然没有表示赞同,但紧皱的眉头到底舒展开来,没有继续追问。

紧接着,另一位专精于半导体领域的教授继续开口,问了一个更具体的技术问题。

“江南同学,请从物理学的角度谈谈,你认为在当前及未来亚纳米节点,极紫外光刻系统面临的最大物理挑战是什么?不仅仅是光源功率和透镜,我希望听到更本质的物理限制。”

这个问题非常专业且刁钻,对于研究生复试考试来说难度过大。

龙老坐直了椅背,有些担心的看了看江南。

随后,会议室里响起江南沉稳从容的声音。

“除了众所周知的光源转换效率与功率、光学系统设计与像差控制等工程难题外,从更基础的物理层面来看,我认为核心挑战至少体现在三个方面:”

他边说边思考,回答得流畅又有逻辑,可见是平时就有过深入思考。。

“第一是量子效应带来的极限。当特征尺寸逼近原子尺度,量子隧穿效应、尺寸效应会变得极其显著,传统的半导体器件物理模型会逐渐失效,材料的能带结构、载流子输运行为都会发生本质变化,这对光刻精度提出了近乎苛刻的要求,同时也意味着我们可能需要探索全新的器件架构,甚至是非硅基材料。”

“第二是光与物质相互作用在极紫外波段的特殊性。EUV光子能量极高,几乎所有材料都会对其强烈吸收,这也就意味着我们没办法使用传统的透射式光学系统,而必须采用基于布拉格反射的多层膜反射镜。但这带来了反射率提升难、膜层热稳定性、缺陷控制等一系列极其复杂的表面与界面物理问题……”

“第三是随机性问题。在极紫外光刻中,由于光子数量有限、二次电子发射的统计涨落等,会引入显著的随机涨落效应,如线


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